1. 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在关位置。
2. 打开总电源开关,设备送电。
3. 低压阀拉出,开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
4. 安装固定钨螺旋加热子,把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上,把铝丝穿放在螺旋加热子内,清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
5. 落下钟罩。
6. 启动抽真空机械泵。
7. 开复合真空计电源。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。
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