等离子体增强化学的气相沉积法。
实验机理:借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
优点:基本温度低;沉积速率快;成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。
缺点:设备投资大、成本高,对气体的纯度要求高;对小孔孔径内表面难以涂层;沉积之后产生的尾气不易处理。
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